[20a-C103-1~11] 6.4 Thin films and New materials

[20a-C103-2] Diagnostics of mist transport and sticking processes using diode and triode electrode structures

〇Takanori Kuroki¹, Ishikawa Ryo¹, Shirai Hajime¹ (1.Saitama Univ.)

Keywords:PEDOT:PSS, Solar cells, Mist deposition

溶液前駆体からの気相成長法として、帯電ミストを利用した霧化塗布法を検討してきた。現在までにキャリアガス流量、基板温度、基板バイアスの制御によりテクスチャーSi上にPEDOT:PSSを高密着且つ均一成膜が可能であることを明らかにした。しかし各条件に対する帯電ミストの輸送・付着過程については不明な点も多い。今回はメッシュ電極を用いた3電極構造を用いて、ミスト輸送中の溶媒離脱、ミスト付着過程を診断した結果を報告する。