[20a-C103-1~11] 6.4 薄膜新材料

[20a-C103-2] トライオード法による帯電ミストの輸送・付着過程の診断

〇黒木 宇紀¹、石川 良¹、白井 肇¹ (1.埼玉大理工)

キーワード：PEDOT:PSS、太陽電池、霧化塗布法

溶液前駆体からの気相成長法として、帯電ミストを利用した霧化塗布法を検討してきた。現在までにキャリアガス流量、基板温度、基板バイアスの制御によりテクスチャーSi上にPEDOT:PSSを高密着且つ均一成膜が可能であることを明らかにした。しかし各条件に対する帯電ミストの輸送・付着過程については不明な点も多い。今回はメッシュ電極を用いた3電極構造を用いて、ミスト輸送中の溶媒離脱、ミスト付着過程を診断した結果を報告する。