[20a-C204-1~12] 8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理

[20a-C204-4] 炭素材料創製用非平衡大気圧炭化水素プラズマのシミュレーション

〇(M2)大木 一真¹、小田 昭紀¹、太田 貴之²、上坂 裕之³ (1.千葉工大、2.名城大、3.岐阜大)

キーワード：非平衡大気圧プラズマ、炭化水素プラズマ、ダイヤモンドライクカーボン

非平衡大気圧プラズマは，化学的に活性な低温プラズマであり，炭素材料の創製に利用されている。これらの成膜法である大気圧プラズマCVD法の最適化を図る上では，この大気圧プラズマの生成維持メカニズムの解明のみならず，成膜に寄与する炭素源の生成を決定するプラズマの基礎特性の把握が重要である。本研究では，He希釈されたCH₄ガスでの非平衡大気圧プラズマの空間一次元流体モデルを構築および解析を行った。