[20a-D103-1~11] 15.6 IV族系化合物（SiC）

[20a-D103-1] 極限環境応用に向けた4H-SiC上Ni/Nbオーミックコンタクトの高温信頼性

〇(D)ヴォーン ヴァン クォン¹、石川 誠治^1,2、瀬崎 洋^1,2、前田 知徳^1,2、小金澤 智之³、安野 聡³、宮崎 孝道⁴、黒木 伸一郎¹ (1.広島大ナノデバイス、2.フェニテックセミコン、3.JASRI、4.東北大学)

キーワード：半導体、SiC