[20a-D103-1~11] 15.6 IV族系化合物（SiC）

[20a-D103-7] 高分解能局所DLTSによるSiO₂/4H-SiC界面の欠陥分布観察

〇山岸 裕史¹、長 康雄¹ (1.東北大)

キーワード：MOS界面、DLTS、トラップ準位