[20a-E201-1~9] 21.1 合同セッションＫ 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

△ [20a-E201-1] シンクロトロンX線トポグラフィーによる(001) HVPE成長β-Ga₂O₃エピ膜の欠陥の観察

〇桝谷 聡士¹、佐々木 公平^2,3、倉又 朗人^2,3、上田 修⁴ (1.佐賀大院工、2.ノベルクリスタルテクノロジー、3.タムラ製作所、4.金沢工大)

キーワード：酸化ガリウム、X線トポグラフィー