[20a-F214-1~9] 15.5 IV族結晶，IV-IV族混晶

[20a-F214-7] ドーパント種が水中パルスレーザアニールによるGe_1−xSn_x薄膜への高濃度ドーピングに及ぼす効果

〇高橋 恒太^1,2、黒澤 昌志^1,3,4、池上 浩⁵、坂下 満男¹、中塚 理^1,6、財満 鎭明⁶ (1.名大院工、2.JSPS、3.名大高等研究院、4.JSTさきがけ、5.九大院ｼｽ情ｷﾞｶﾞﾌｫﾄﾝ共同部門、6.名大未来研)

キーワード：GeSn、レーザアニール