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[20a-P2-15] 丸型・四角型・三角型アバランシェフォトダイオードの角における電界強度の評価
キーワード:アバランシェフォトダイオード、電界強度、レイアウト
丸型,四角型,三角型アバランシェフォトダイオード(APD)ではブレークダウン電圧に違いがある.そこでデバイスシミュレータを用いて,丸型,四角型,三角型APDの角と辺における電界強度を測定した.四角型,三角型APDの角では電界強度は強くなり,丸型APDでは電界強度の偏りが少ないことが分かった.電界強度の偏りによりブレークダウン電圧に違いがあることが確認できた.