[20a-P5-1~11] 6.1 強誘電体薄膜

[20a-P5-3] Ru-O系導電性酸化物薄膜の作製と評価

〇成澤 謙真¹、髙橋 崇典¹、山口 雅仁¹、内山 潔¹ (1.鶴岡工業高等専門学校)

キーワード：酸化物電極、RuO2