[20a-P5-1~11] 6.1 強誘電体薄膜

[20a-P5-5] RFマグネトロンスパッタ法で作製したプロトン伝導体
BaCe_0.6Ti_0.2Y_0.2O_3-δ薄膜の化学的安定性

〇小鷹 尚也¹、髙橋 崇典¹、内山 潔¹ (1.鶴岡高等専門学校)

キーワード：化学的安定性