[20a-P7-1~37] 12.1 作製・構造制御

[20a-P7-24] 親撥液パターニング処理した導電性高分子を用いた抵抗変化型温度センサの作製

〇二谷 真司¹、中山 健吾¹、前田 和紀¹、櫻井 芳昭¹、宇野 真由美¹ (1.大阪技術研)

キーワード：導電性高分子、親撥液パターニング、温度センサ

温度によって抵抗値が変化するPEDOT系導電性高分子薄膜を、センサ部に用いた抵抗変化型温度センサを開発した。PEDOT薄膜の抵抗値の制御と均一化を目標として、真空紫外光を用いた基板の親撥液パターニングとそれに続くPEDOT溶液塗布を行った。これにより、インクジェット塗布を用いて線幅50 mm程度の均一な薄膜パターンが得られ、これを用いた温度センサを作製したので報告する。