[20a-P7-1~37] 12.1 作製・構造制御

[20a-P7-8] 低Tg高分子表面での金属蒸気原子堆積特性

〇(M1C)王 陸¹、松本 彩希¹、宮田 勝登志¹、辻岡 強¹ (1.阪教大院)

キーワード：ポリジメチルシロキサン、真空蒸着、ガラス転移点

我々は低ガラス転移点(T_g)を有するオイル状ポリジメチルシロキサン(PDMS)膜表面において金属原子が 堆積せずに離脱する現象を報告してきた。この現象は、有機デバイスの電極パターンや希少金属の高効率集積蒸着に応用出来る。本研究では硬化型PDMSを用いて硬化度と金属堆積特性の変化について調べた。その結果、同じT_gでもより硬化度の高いゴム状膜ほど金属蒸気原子は堆積しやすいということが分かった。