[20a-P9-1~12] 16.3 シリコン系太陽電池

[20a-P9-5] PERCセルにおけるレーザー加工損傷と熱処理影響のPL手法による評価

〇松下 洋介¹、白澤 勝彦²、高遠 秀尚² (1.(株)アイテス、2.産総研)

キーワード：顕微PLイメージング、PERC、フォトルミネッセンス

PERCセルにおいて、レーザー加工による裏面パッシベーション層への損傷と電極形成時の熱処理での損傷の緩和の、パッシベーション性能へ影響を顕微PLイメージング法によって性能を評価する。