講演情報

Tweet

一般セッション(口頭講演)

7 ビーム応用 » 7.1 X線技術

[20p-B301-1~13] 7.1 X線技術

2018年3月20日(火) 13:15 〜 16:45 B301 (53-301)

豊田光紀(東北大)、今園孝志(量研機構)、渡辺紀生(筑波大)

13:30 〜 13:45

[20p-B301-2] 回折限界EUV結像を実現するアクロマティックEUV多層膜ミラーの開発

〇(M2)金子明誉¹、豊田光紀¹、高田昌樹¹ (1.東北大多元研)

キーワード：多層膜ミラー、極紫外線、顕微鏡