[20p-B303-1~8] 7.2 Applications and technologies of electron beams

△ [20p-B303-2] Localized electric field visualization using low energy electron beam deflection

〇(M1)Samuel Jeong¹, Yu Kikuchi¹, Yoshikazu Ito¹, Jun-ichi Fujita¹ (1.Univ. Tsukuba)

Keywords:localized electric field, visualization, low energy electron beam deflection

当研究室では低加速電子線偏向を用いた電界可視化技術を行っている。これまでにも、SEMをベースとした局在電界可視化技術を報告してきた。しかし、これらは我々が目標とする触媒中に局在する電荷を可視化するには空間分解能と電界強度の検出感度が不十分であった。本研究では高感度検出器の導入により、従来より低加速な1 ~5 keV電子線を用いて20 nmの高分解能での高感度局在電界可視化に成功したことを報告する。