[20p-B303-1~8] 7.2 電子ビーム応用

[20p-B303-4] 円環・円孔電極を用いたSEM用電界型Csコレクタの開発

〇川崎 忠寛¹、吉田 竜視¹、加藤 丈晴¹、本村 俊一²、野間口 恒典²、揚村 寿英²、富田 正弘³、生田 孝⁴ (1.JFCC、2.日立ハイテク、3.真空デバイス、4.大阪電通大)

キーワード：収差補正、SEM