[20p-B401-1~12] 7.3 微細パターン・微細構造形成技術

[20p-B401-11] ナノインプリントにおけるレジスト収縮による形状予測とその補正

飯田 達矢¹、〇渡辺 謙太¹、安田 雅昭¹、川田 博昭¹、平井 義彦¹ (1.大阪府立大 院　工)

キーワード：ナノインプリントリソグラフィ、モールド、収縮