[20p-B401-1~12] 7.3 微細パターン・微細構造形成技術

[20p-B401-3] 柔軟基板上へのサブミクロンばね状金属格子パターンの作製

〇(M2)佐藤 尚行¹、谷口 淳¹ (1.東理大基礎工)

キーワード：透明電極、高アスペクト、柔軟基板

我々は銀インクを用いたばね状格子パターンによる伸縮耐性のある透明電極に着目している。銀インクはITOよりも安価で大気中でも印刷が可能である。透明電極の作製において、透過性と導電性はどちらも高いものが望ましい。また、ウェアラブルデバイスのために伸縮耐性も必要である。そこで，本研究ではナノインプリント技術を用いて微細かつ高アスペクト比なばね状格子パターンの透明電極を作製した。