[20p-C202-1~7] 17.3 層状物質

△ [20p-C202-4] 酸化プロセスによる自己保護膜を持った極薄SnS層の作製

〇東垂水 直樹¹、川元 颯巳¹、上野 啓司²、長汐 晃輔^1,3 (1.東大工、2.埼玉大、3.JST-さきがけ)

キーワード：圧電、硫化スズ

単層SnSは，PZTに匹敵する圧電特性を持つことが予想されているが未だ実証されておらず単層形成手法も確立されていない．これまで我々はAu転写法により剥離したSnS表面に存在するSnO_x層が保護膜として機能し，保護膜下のSnSの結晶性を保つことを明らかにした．本研究では，SnO_x自己保護膜を持ったSnS層を酸化/エッチング処理することで，結晶性を維持しつつlayer-by-layerで薄膜化することを検討した．