[20p-C301-1~13] 3.11 フォトニック構造・現象

[20p-C301-7] フォトリソグラフィによるフォトニック結晶波長分波器とその最適化

〇金 セイ基¹、大岡 勇太¹、鐵本 智大¹、ヌル　アシキン ビンティ　ダウド¹、田邉 孝純¹ (1.慶大理工)

キーワード：フォトニック結晶、フォトリソグラフィ、波長分波器

シリコンフォトニック結晶共振器を用いた波長分波器(DeMUX)に関して発表する．従来のフォトニック結晶共振器は中空構造を有し電子ビーム描画で作製するので将来の量産化には適していなかった．そこで我々はフォトリソグラフィにてシリカクラッド層を導入したDeMUXを試作した．8チャネル，面内集積されたDeMUXの光学特性を評価し，さらに作製したDeMUXの導波路の最適化設計についても発表する．それによって透過率とクロストークの改善がなされた．