高周波CMOSインバータに向けた4H-SiCトレンチpMOSFETsの研究

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一般セッション(口頭講演)

15 結晶工学 » 15.6 IV族系化合物（SiC）

[20p-D103-1~14] 15.6 IV族系化合物（SiC）

2018年3月20日(火) 13:15 〜 17:00 D103 (56-103)

16:15 〜 16:30

〇(M1)井上純¹、黒木伸一郎¹、石川誠治²、前田知徳²、瀬崎洋²、牧野高紘³、大島武³、Mikael Ostling⁴、Carl-Mikael Zetterling⁴ (1.広島大学ナノデバイス、2.フェニテックセミコン、3.QST、4.スウェーデン王立工科大学)

キーワード：半導体、SiC