[20p-D103-1~14] 15.6 IV族系化合物（SiC）

△ [20p-D103-5] SiC MOSFETにおける界面準位が短チャネル効果に及ぼす影響

〇立木 馨大¹、小野 貴央¹、小林 拓真¹、木本 恒暢¹ (1.京大院工)

キーワード：SiC