16:00 〜 18:00 [18p-PB5-23] 超臨界CO2流体を用いたCuドープZnOの堆積および微細埋め込み 〇近藤 英一1、塩田 明美1、金 蓮花1、Bernard Gelloz2 (1.山梨大、2.名大)