09:30 〜 09:45 [18a-E318-3] 高輝度NEAホトカソードを電子源としたSEM向け電子銃の開発 〇大嶋 卓1、森下 英郎1,2、桒原 真人2、揚村 寿英3、小瀬 洋一3 (1.日立研開、2.名大未来研、3.日立ハイテクノロジーズ)