09:15 〜 09:30 [18a-E303-2] バッチ式シリコンウエハ湿式洗浄装置における水流の設計と検証 〇高橋 俊範1、松尾 美弥1、羽深 等1、後藤 昭広2 (1.横国大院理工、2.プレテック)