16:00 〜 18:00 △ [18p-PB4-2] CZ-Si結晶成長中の点欠陥挙動に与える窒素の影響 〇(M1)谷口 元春1、末岡 浩治2、宝来 正隆3 (1.岡山県大院情報系工、2.岡山県大情報工、3.SUMCO)