11:45 〜 12:00 [20a-E306-11] 質量分離有機金属分子イオンビーム堆積法のストイキオメトリ成膜への応用 〇吉村 智1、杉本 敏司1、竹内 孝江2、村井 健介3、木内 正人3 (1.阪大工、2.奈良女大、3.産総研)