16:00 〜 16:15 [20p-E314-10] Texture基板におけるa-SiOx:H薄膜パッシベーション性能 〇斉藤 公彦1、高村 司2、市川 幸美2、小長井 誠2 (1.福島大共生システム、2.東京都市大総研)