10:30 〜 10:45
▲ [20a-E307-3] Improvement of Line-Edge Roughness on Pt-based Ultrafine Nanorods by Post-Exposure Bake
〇JAEYEON KIM1、Ryo Toyama1、Yutaka Majima1 (1.Tokyo Institute of Technology)
2019年9月20日(金) 10:00 〜 11:45 E307 (E307)
10:30 〜 10:45
〇JAEYEON KIM1、Ryo Toyama1、Yutaka Majima1 (1.Tokyo Institute of Technology)