09:30 〜 11:30 [18a-PA2-4] 炭素熱還元を用いたMOD法によるVO2薄膜の作製条件の検討 〇藤城 雄飛1、河原 正美2、佐村 剛2、立木 隆1、内田 貴司1 (1.防衛大電気電子、2.高純度化学研)