10:00 〜 10:15 [20a-C310-5] 水蒸気を基板表面に吹き付けてスパッタ成膜したクロム酸化物薄膜 〇王 ハン1、阿部 良夫1、川村 みどり1、金 敬鎬1、木場 隆之1 (1.北見工大)