14:15 〜 14:30 [20p-E317-4] 蒸着時エレクトロマイグレーション法による3端子ナノ電極の形成 〇阿部 卓也1,3、菅 洋志1、塚越 一仁2、内藤 泰久3 (1.千葉工大、2.物材機構、3.産総研)