09:15 〜 09:30 [21a-C310-2] 塗布型粘土絶縁膜を用いたステンレス基板Cr-N薄膜ひずみセンサ素子の断面観察 〇丹羽 英二1、林 晋也2、須貝 一郎2、野口 幸紀2、飯島 高志3、棚池 修3、蛯名 武雄3 (1.電磁研、2.イチネンケミカルズ、3.産総研)