09:30 〜 11:30 [18a-PB3-17] 高品質AlN上RF-MBE成長InNの極微構造評価 〇荒木 努1、橘 秀紀1、高林 佑介1、福田 安莉1、毛利 真一郎1、名西 やす之1、正直 花奈子2、三宅 秀人2,3 (1.立命館大理工、2.三重大院工、3.三重大院地域イノベ)