16:00 〜 18:00 [18p-PB5-19] 常圧非平衡プラズマを用いて作製した高抵抗ZnO薄膜の電気および圧電特性 〇宝栄 周弥1、桐谷 乃輔1、吉村 武1、芦田 淳1、藤村 紀文1 (1.阪府大工)