13:30 〜 15:30 [19p-PB3-8] AlGaInN/AlGaNヘテロ構造の光電気化学エッチング(2) 〇小松 祐斗1、渡久地 政周1、斉藤 早紀2、三好 実人2、佐藤 威友1 (1.北大量集センター、2.名工大)