11:45 〜 12:00 [21a-E301-11] ピコ秒レーザPLD法を用いたGaNトンネル接合コンタクトの形成 〇児玉 和樹1、小笠原 直2、内藤 一樹3、小田 修1、堀 勝1、上田 大助1 (1.名古屋大、2.京都工芸繊維大、3.大陽日酸)