09:30 〜 11:30 [18a-PB3-5] UHVスパッタエピタキシー法によるAlN層の成長(Ⅲ) 〇福田 直樹1、長田 拓也1、岩元 正紀1、水野 愛1、安藤 毅1、篠田 宏之1、六倉 信喜1 (1.東京電機大工)