13:45 〜 14:00 [18p-N302-4] 電子線照射によりホモエピタキシャル成長n型GaN中に形成されるホールトラップの評価 〇遠藤 彗1、鐘ヶ江 一孝1、堀田 昌宏1,2、須田 淳1,2 (1.名大院工、2.名大未来研)