16:00 〜 18:00 [18p-PB5-33] 誘導結合プラズマスパッタ装置を用いた2層IGZO TFTの信頼性評価 〇松尾 大輔1、宮永 良子2、池田 拓弥1、岸田 茂明1、瀬戸口 佳孝1、安東 靖典1、藤井 茉美2、浦岡 行治2 (1.日新電機、2.奈良先端大)