16:00 〜 18:00 [18p-PA3-7] スパッタ成膜中の負イオン照射測定に基づいた高圧電性ScAlN薄膜の形成 〇(M1)富永 浩平1、高柳 真司1、柳谷 隆彦2 (1.同志社大、2.早稲田大)