09:45 〜 10:00
〇妹川 要1,2、濱野 史暢1、中村 大輔1、齋藤 香織3、後藤 順3、後藤 哲也4、池上 浩1,2 (1.九大、2.九大ギガフォトン共同部門、3.ブイ・テクノロジー、4.東北大未来研)
妹川 要
発表者・著者、共著者
2019年9月18日(水) 09:30 〜 11:45 E304 (E304)
- 一般セッション(口頭講演)
- | 13 半導体
- | 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・MEMS・装置技術
2019年9月18日(水) 09:30 〜 11:45 E304 (E304)
09:45 〜 10:00
〇妹川 要1,2、濱野 史暢1、中村 大輔1、齋藤 香織3、後藤 順3、後藤 哲也4、池上 浩1,2 (1.九大、2.九大ギガフォトン共同部門、3.ブイ・テクノロジー、4.東北大未来研)