16:00 〜 18:00 △ [18p-PB5-9] GaNテンプレート基板上の自然酸化膜処理が及ぼすミストCVD法によるε-Ga2O3薄膜成長への影響 〇伊藤 雄祐1、田原 大祐1、新田 悠汰1、西中 浩之1、吉本 昌広1 (1.京工繊大)