16:00 〜 16:15 [19p-E308-11] スパッタ法で合成したh-BN薄膜とその絶縁特性 〇近藤 大雄1,2、林 賢二郎1,2、片岡 真沙子1、佐藤 信太郎1,2 (1.富士通研、2.富士通)