09:30 〜 09:45 △ [20a-E203-3] CVDグラフェン上のRFスパッタc軸配向ScAlN薄膜の圧電特性 〇(M1)天野 凌輔1,2、柳谷 隆彦1,2,3 (1.早大先進理工、2.材研、3.JSTさきがけ)