12:00 〜 12:15 [20a-E306-12] リソグラフィ加工による凹凸を持つ無酸素銅電極の真空中絶縁破壊 〇(M1)多田 涼馬1、星野 鉄哉1、片桐 創一1、山納 康1,2、山本 将博1,3、伊藤 雅英1 (1.筑波大数理、2.埼玉大、3.KEK)