13:45 〜 14:00 [20p-E314-2] レーザーテラヘルツエミッション顕微鏡(LTEM)とコロナ放電によるシリコン酸化膜パッシベーションの評価 〇望月 敏光1、伊藤 明2、棚橋 克人1、中西 英俊2、川山 巌3、斗内 政吉3、白澤 勝彦1、高遠 秀尚1 (1.産総研、2.SCREEN、3.阪大レーザー研)