16:00 〜 18:00
〇大崎 脩仁1,2、荒木 晃子2、金時 拓哉3,1、脇田 慎一1,2、民谷 栄一1,2 (1.産総研-阪大OIL、2.阪大院工、3.大工大院工)
大崎 脩仁
発表者・著者、共著者
2019年9月20日(金) 16:00 〜 18:00 PA7 (第一体育館)
- 一般セッション(ポスター講演)
- | 13 半導体
- | 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・MEMS・装置技術
2019年9月20日(金) 16:00 〜 18:00 PA7 (第一体育館)
16:00 〜 18:00
〇大崎 脩仁1,2、荒木 晃子2、金時 拓哉3,1、脇田 慎一1,2、民谷 栄一1,2 (1.産総研-阪大OIL、2.阪大院工、3.大工大院工)