09:30 〜 11:30 [21a-PA2-11] RFスパッタを用いたVO2の成膜及び温度による光学特性の評価 〇金 胄男1,2、江尻 拓斗1、杉山 睦1,2 (1.東京理科大学、2.東京理科大学総研)