14:00 〜 14:15 [21p-E301-2] β-Ga2O3 ショットキーバリアダイオードの電子線照射に対する耐性 〇林 家弘1、武山 昭憲2、湯田 洋平3、綿引 達郎3、村上 尚4、熊谷 義直4、大島 武2、東脇 正高1 (1.情通機構、2.量研、3.三菱電機、4.東京農工大院工)